Estudios de la incorporación de nitrógeno y flúor en películas delgadas de carbono amorfo hidrogenado (a-c:H) utilizando la técnica de PECVD

Abstract

Investiga los efectos de la incorporación de nitrógeno y flúor sobre la micro estructura y las propiedades mecánicas de películas de carbono amorfo hidrogenados, H C a : − , depositados por la técnica “Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition“ (PECVD). La composición química es estudiada por técnicas de “Ion Beam Analysis” (IBA). La densidad de la película es obtenida combinando los resultados de análisis de rayos de iones y el espesor de la película determinado por un perfilometro. Las modificaciones de las micro estructura de la película fueron determinadas por espectroscopia Raman y los enlaces químicas por espectroscopia de fotoelectrones de Rayos-X. Una especial atención es puesta en las propiedades mecánicas como la tensión interna y la dureza. Encontramos que la incorporación de nitrógeno en la película no cambia las propiedades “diamon-like”, para después obtener una progresiva grafitación con la incorporación de nitrógeno. En este caso observamos una reducción de la tensión interna sufriendo cambios en la dureza de la película que es atribuido a la reducción de conexiones en la rede. Con el incremento del contenido del flúor tenemos como resultados películas tipo polímeros (“polymer-like”) con pequeñas reducciones de la dureza y la tensión interna.